1.
SEMI F47는
무엇입니까?
5.
"Voltage
Sag"와 "Voltage Dip"의 용어의 차이점?
6.
CE,
UL, SEMI S2의 기준에 만족하는 장치는, SEMI F47을 만족합니까?
1.
SEMI F47는
무엇입니까?
SEMI F47는 반도체 제조장치에 대한 전압순간저하(Sag) 내성기준이며,
구매 시방서입니다. 전압순간저하(Sag)는
짧은 시간동안 (1 cycle - 몇초) AC 메인전원의 전압이 감소하는 것입니다.
주로, 전기회사 송배전 선로의 순간단락이나 산업설비에서 큰부하의 갑작스런
투입, 이탈로 발생되는 순간전압저하(Sag)는 가장 흔하게 발생되는 전기품질 이벤트입니다. SEMI F47은
모든 반도체 제조장치가 다음의 전압순간저하(Sag)에 반드시 "견뎌내야
하는" 전기품질기준으로, %는
정상전압 대비 크기입니다.
-
50% 전압에서 200 msec 지속
-
70% 전압에서 500 msec 지속
-
80% 전압에서 1 sec 지속
즉, 240V 에서 80% 순간전압저하(Sag)은
192V까지 떨어진 전압입니다.
2.
SEMI
F47 에는 추가적인 순간전압저하(Sag) 기준이 있습니까?
그렇습니다.
위에 제시한 3가지 필수항목 외에, SEMI F47은 다음을 권고항목으로 하고 있습니다.
-
0% for 1 cycle (no voltage at all)
-
80% for 10 seconds
전세계에
위치한 반도체 제조 공장과 반도체 장비 제조자들의 모임인 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)에서 약
3년 동안의 긴 조사기간 동안, 회원사 반도체 공장에
대하여 대략 월1회 기록되어 수천 건의 순간전압저하(Sag)가 발생되었습니다. SEMI
F47의 요구수준에 만족하지 않는 장치는 월 1회 고장이 발생하였지만, 이와 상반되게
SEMI F47을 만족하는 장치는 20개월에 1번정도 고장이 발생하게 되었습니다. 2000년
2월에
최초로 발표되었으며, 그후 5년 동안 전 세계에서 사용하여 오다가
그 간의 운영 경험을 토대로 2006년 7월에 두 번째 기준(SEMI F47-0706)을
발표하였습니다.
일반적으로
운영자의 적절한 대책이 없으면, 전압순간저하(Sag)이 발생되는 동안 오동작을
하게 됩니다. 그러나,
일부 고객은 휠씬 엄격한 기준이 있지만, SEMI F47은 견뎌내야 하는 기준을 명확히
알려줍니다.
5.
"Voltage
Sag"와 "Voltage Dip"의 용어의 차이점?
전혀 없습니다. 미국식 영어는 "Sag"라
하고, 영국식 영어는 "Dip"라 부릅니다.
그러나 이 두 단어의 의미는 완전히
동일합니다.
6.
CE,
UL, SEMI S2의 기준에 만족하는 장치는, SEMI F47을 만족합니까?
아닙니다.
SEMI F47은 더욱 엄격한 기준이고, 비슷한 CE 테스트에 사용된 61000-4-11
기준보다 일부 더 엄격한 항목이 있습니다. 그리고, UL 및 SEMI S2 기준은
안전성에 대한 것이지, 성능에 대한 규격은 아닙니다. 또한 SEMI F47은
법적 또는 국가적인 강제 규정이 아니므로 반드시 각 회사별로 별도로 테스트하여야 합니다.
고객입니다. 만약 인텔, 모토로라, TI, IBM, Infenion 등에 장비를
납품하려면, 주문서에는 SEMI F47 기준 만족을 요구하므로, 그 기준을 충족하여야
합니다. 충족하지 못하면, 납품할 수 없습니다.
- SEMI F47에는
법률적 또는 안전에 대한 항목이 없습니다
- SEMI F47은 순수하게 신뢰성과 성능기준에
대한 것입니다.
8.
SEMI
F47 기준은 UPS가 필요하다는 의미입니까?
장비내에는 절대로 UPS 사용을 금지하고 있지만, 엔지니어의
책임하에 공장내 UPS 사용을 허용하고 있습니다.(SEMI F47-0706
개정)
SEMI F47은 장비내에서는 UPS를 사용하지 않기를 바랍니다. 그
대신에, SEMI F47 테스트 중에, 일부 설계 변경을 필요로 할 수도 있습니다
- UPS 또는 Sag보상장치는 비싸고
부피가 커서 반도체 공장안의 작업공간을 많이 차지하므로,
전기품질 개선장치의 추가는 항상 마지막 수단입니다.
9.
이미 설계기준이 SEMI F47에 충족하면 어떻게 됩니까?
매우
훌륭합니다. 최상급의 반도체 제조업체의 수준에 만족하기 위해서는 "Power
Standards Lab" 또는 타 공인업체로 부터 객관적인 F47 인증을 받아야 합니다.
(올바른 SEMI F47 테스트 및 인증에는 이것을 수행하기 위한 계측기가
필요하고, 대부분의 타 공인 연구소는 Power Standard Lab과 F47시험을 위한 계약을
맺고 있습니다.)
만약
장치나 부품이 DC전원에서 동작하면, SEMI F47의 기준에서 제외되고, 인증받을 필요가
없습니다. 만약 장치에 AC전원이 인가되지 않는 (예를 들어, 가스 또는
유체로만 확실하에 작동하는) 시스템이면, SEMI F47로부터 제외입니다. 그러나
AC전원 코드가 있으면, SEMI F47을 충족하여야 합니다.
순간전압저하(Sag)는
한번에 1쌍의 도체 사이에만 인가됩니다. 예를 들어, 중성선이 없는
3상 전원 시스템에서, 순간전압저하(Sag)는 L1-L2, L2-L3, L3-L1의 순서로 인가합니다.
언제나, 순간전압저하(Sag)가 되지 않는 1상이 최소한 있어야
합니다. SEMI F47에서는 3상 동시 시험은 전기공급 회사의 고장 유형에 따라서 배제되어
있습니다.
How do I get
started?
- Skim through this CD-ROM. Take a brief look at
the standards, the application notes, and the test equipment.
- Contact Power Standards Lab and ask to speak to
a SEMI F47 Engineer. TEL ++1-(510)522-4400, or e-mail F47@PowerStandards.com. We will be glad
to help you figure out what to do.
- Do some quick, simple tests to find out whether
your equipment already passes. We will give you some helpful rules of
thumb.
- If necessary, hire PSL to work with you for one
day. We will provide the test equipment, and a highly-experienced engineer who
will work with you to solve any problems you might have. And we will train you
to perform future tests yourself, safely and accurately, using our
TestingPartner program.
- PSL will issue you an electronic SEMI F47
Certificate, and optional Report, that you can e-mail to your customer, post on
your web site, etc.
Start by calling us(PSL in USA) at
++1(510)522-4400
SEMI
F47-0706 영문 원본 CD-ROM 구입은 SEMI Korea 차 지현과장(jcha@semi.org)
또는 02-551-3403에 문의하시기
바랍니다.
(주)재신정보는
PSLKorea로서
PSL사의 공인 대리점으로
한국 내 SEMI F47 인증서 발행을
대행할 회사입니다.
www.jsdata.co.kr
Tel: (02) 3472-7874 Fax:(02)3472-7803
SEMI
F47-0706 (한글판) 바로가기
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